中國電科實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化緩解芯片制造領(lǐng)域斷鏈難題

2021-03-18 08:11:25來源：科技日報

17日，記者從中國電科獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。

離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。據(jù)了解，在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素，按預定方式改變材料的電性能。這些元素以帶電離子的形式，被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中。離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設備。

作為國內(nèi)唯一一家集研發(fā)、制造、服務于一體的離子注入機供應商，電科裝備連續(xù)突破大流強長壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)?ldquo;卡脖子”技術(shù)，自主研制中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成核心發(fā)明專利413項，實現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，有效緩解我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

電科裝備有關(guān)負責人表示，下一步該企業(yè)將瞄準高端，緊跟先進工藝發(fā)展，加快推進適用于更先進工藝節(jié)點離子注入機的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

(孫友芳王雪姣付毅飛)

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